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导读
近日，日本国立材料研究所领导的科研团队成功开发出一种高质量的金刚石悬臂梁，它实现了室温条件下最高的品质（Q）因子。研究小组首次在世界上成功开发出单晶金刚石MEMS传感器芯片。
背景
智能手机、智能手环、汽车、无人机、VR/AR设备等一系列产品中都会有MEMS技术的身影。可是，或许大部分人对于MEMS还是比较陌生。
MEMS是什么？
MEMS（Microelectromechanicalsystems）的缩写，翻译过来称为“微机电系统”，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等。这是一种尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
微机电系统芯片（图片来源：维基百科）MEMS是一门交叉学科，涉及微加工技术，机械学/固体声波理论，热流理论，电子学，生物学等学科。其学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。
MEMS技术的应用范围很广，相关产品也很丰富，例如加速度计、麦克风、微马达、微泵、微振子、光学传感器、压力传感器、陀螺仪、湿度传感器、气体传感器、质量分析仪、扫描显微镜探针等。MEMS传感器主要优点是体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等。
为了让大家有一个更直观更深入的理解，接下来回顾一下笔者之前介绍过的MEMS技术相关的科研案例：
（一）芯片实验室技术，它是微电子机械系统（MEMS）的一个子集，也称为“微全分析系统”（TAS）。芯片实验室技术，使得试样处理到检测的整个流程，达到微型化、自动化、集成化和便携化，不仅大大节约了资源与能源，同时降低了成本，减少了污染。
（图片来源：斯坦福大学）（二）美国能源部阿贡国家实验室与哈佛大学的研究人员进行合作将微机电系统（MEMS）和超透镜结合到了一起，成功地制造出位于MEMS平台顶层之上的超透镜。
（三）美国杜克大学科研人员首次设计出由超颖材料制成的MEMS红外线发射装置，它不仅能够显示出迅速变化的红外线图案，而且还可以用于废热的重新利用。
（图片来源：参考资料）今天，我们要重点
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